09:30 〜 11:30 [16a-P4-1] 水素イオン注入n-GaNの熱処理 〇伊豫田 健1、高林 洸太1、徳田 豊1、塩島 謙次2、伊藤 成志3、八木 孝秀3 (1.愛知工大、2.福井大院、3.住重試験検査)