一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術
09:00 〜 09:15
〇遠藤 哲郎1 (1.シリコンテクノロジー分科会)
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09:15 〜 09:45
〇西村 知紀1、矢嶋 赳彬1、鳥海 明1 (1.東大)
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09:45 〜 10:15
〇久保井 信行1、辰巳 哲也1、木下 隆1、重歳 卓志2、深沢 正永1、小町 潤1、安斎 久浩1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社、2.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社)
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10:15 〜 10:30
〇鈴木 智之1、若林 整1、筒井 一生1、岩井 洋1、角嶋 邦之1 (1.東工大)
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10:45 〜 11:00
〇水谷 朋子1、竹内 潔1、更屋 拓哉1、篠原 尋史2、小林 正治1、平本 俊郎1 (1.東大生研、2.早大)
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11:00 〜 11:15
〇竹内 潔1、水谷 朋子1、篠原 尋史2、更屋 拓哉1、小林 正治1、平本 俊郎1 (1.東大生研、2.早大)
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11:15 〜 11:30
〇北形 大樹1、周藤 悠介1、山本 修一郎1、菅原 聡1 (1.東京工業大学)
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11:30 〜 11:45
〇古賀 拓哉1、居村 史人1,2、ファン アン チュアン1、ヴー マン ザップ1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技組、2.産総研)
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11:45 〜 12:00
〇武田 和馬1、井田 次郎1、林 拓郎1、細野 竜太郎1、新井 康夫2 (1.金工大工、2.高エネ研)
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12:00 〜 12:15
〇(DC)渡辺 時暢1,2、堀 匡寛1、土屋 敏章3、藤原 聡4、小野 行徳1 (1.静岡大電研、2.富山大院理工、3.島根大総合理工、4.NTT物性研)
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