[14a-304-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14a-304-6] ハイパワー大気圧熱プラズマジェットの加熱特性評価とシリコン薄膜の結晶成長制御

〇中島 涼介¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマジェット、薄膜シリコン、溶融結晶化