[14a-F201-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14a-F201-4] 酸素拡散を考慮したシリコン単結晶中の転位密度解析

〇中野 智²、福島 航¹、原田 博文²、宮村 佳児²、柿本 浩一^1,2 (1.九大院工、2.九大応力研)

キーワード：シリコン、転位

Si結晶中の酸素原子は、転位に固着することで転位を不動化させることが報告されている。CZ法により製造したSi結晶には、 10¹⁸ atoms/cm³程度の酸素原子が固溶しており、高温処理などによって転位の増殖が抑制される。本研究では、Si結晶のアニーリング過程において、酸素原子を考慮した転位密度の3次元数値解析を行い、結晶中の転位増殖に及ぼす固溶酸素原子の影響、および転位増殖過程の解析を行った。