[14p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-412-5] 酸処理ダイヤモンド(111)試料の加熱による表面伝導層の出現

〇河野 省三¹、林 佑哉²、平岩 篤¹、李 成奇³、稲葉 優文²、川原田 洋^1,2 (1.早大ナノ・ライフ、2.早大理工、3.（株）コメット)

キーワード：ダイヤモンド、表面伝導層

ダイヤモンド(111)面の表面伝導層の性質は(001)面のそれとは随分異なることが、Ri達によって初めて報告された。すなわち、(111)面は熱混酸洗浄等で酸素終端後、真空中あるいはArガス中で加熱処理し、大気暴露すると表面伝導層が復活する。一方、(001)面はこのようなことはない。この(111)表面伝導層の復活については、竹内等の報告以降，特に報告はないようである。本研究では、この(111)表面伝導層の復活の再現実験を行い、(001)面との違いについて、主にXPSの観点から調べたので、その結果について報告する。