[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [14p-423-5] 分子軌道計算によるレジスト評価手法の検討

〇(M1)永田 祥平¹、新原 章汰¹、原田 哲男¹、渡邊 健夫¹ (1.兵県大高度研)

キーワード：レジスト、シミュレーション、赤外吸収分光