[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-423-8] 自己組織化/電子ビーム複合リソグラフィによる局所ナノパターニングに関する研究

〇米谷 玲皇¹、西川 慧¹、前田 悦男¹ (1.東大院工)

キーワード：自己組織化、電子ビームリソグラフィ、ナノパターニング

本研究では、位置選択的にナノ構造を形成可能な簡便なプロセスを構築することを目的としてブロック共重合体の自己組織化，電子ビームリソグラフィを複合的に活用した局所ナノパターニングに関する研究を行い、ポジ型ナノ構造，ネガ型ナノ構造の局所形成を実証した。自己組織化/電子ビームリソグラフィによるナノ構造の形成特性について報告する。