[14p-514-1~8] 1.6 超音波

[14p-514-7] ボールSAW微量水分計を用いたステンレス鋼ガス配管の吸脱着測定

〇辻 俊宏¹、赤尾 慎吾²、大泉 透²、福士 秀幸²、竹田 宣生²、塚原 祐輔²、山中 一司² (1.東北大、2.ボールウェーブ)

キーワード：弾性表面波センサ、微量水分計、ステンレス鋼管

ボールSAWセンサを用いた微量水分計は既存の手法に比べて応答時間が短い特色がある。この特性は高純度ガス用のステンレス鋼配管の水分吸脱着特性の評価に有用である。本発表では、測定時間分解能を3sまで改善して、内面処理が異なる(光輝焼鈍、電解研磨、電解複合研磨)長さ100mmの配管サンプルを評価した結果を報告する。その結果、わずか100mmでも配管システムの吸脱着特性に大きな影響を及ぼすことが分かった。