[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [14p-F201-7] 電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法による太陽電池用CZ-Si中の低炭素濃度の定量

〇木内 広達¹、田島 道夫¹、樋口 史仁¹、石川 陽一郎¹、小椋 厚志¹ (1.明治大理工)

キーワード：炭素、フォトルミネッセンス、シリコン