[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P3-10] 微小圧縮試験片を用いたNiFeCoGa形状記憶合金の機械的特性評価

〇井川 健吾¹、柳田 佐理¹、Chang Tso-Fu Mark¹、Chen Chun-Yi¹、田原 正樹¹、稲邑 朋也¹、細田 秀樹¹、Chernenko Volodymyr A.²、曽根 正人¹ (1.東工大、2.Ikerbasque)

キーワード：MEMS、形状記憶合金、微小材料試験