2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[14p-P4-1~78] 17 ナノカーボン(ポスター)

2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P4 (展示ホールB)

13:30 〜 15:30

[14p-P4-77] 自己組織化単分子膜を用いたadhesion lithographyによるMoS2 FETの作製

川那子 高暢1、居駒 遼1、Du Wanjing1、小田 俊理1 (1.東工大量子ナノ研)

キーワード:半導体デバイス、自己組織化単分子膜、層状物質