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[14p-P5-8] SH-SAWセンサ応答を用いた逆問題解析による液体の物性値推定
キーワード:横波型弾性表面波センサ、逆問題解析
横波型弾性表面波(SH-SAW)センサを用いると液体の物性値を求めることができる.従来,物性値を求めるために摂動解を利用してきた.しかし,摂動解は近似解であることや粘度と密度を分離するには特殊な構造のSH-SAWセンサが必要という問題がある.そこで,本稿ではセンサ応答に逆問題解析法をすることを提案する.数値解析法に基づく逆問題解析法を構築し,実際の測定結果に適用した.その結果,提案手法は有効であることが分かった.