[15a-304-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-304-1] 低温形成PZT薄膜における前駆体溶液中の鉛含有率の最適化

〇(DC)志村 礼司郎^1,2、Tue Phan Trong^1,2、下田 達也^1,2、高村 禅^1,2 (1.北陸先端大、2.CREST)

キーワード：チタン酸ジルコン酸鉛、溶液法