[15a-304-1~10] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /Interconnect technology/ MEMS/ Integration technology

[15a-304-5] Silicon MEMS Torsional Resonator with Electro Magnetic Driving and Inductive Sensing Functions

〇Yoshiyuki Watanabe¹, Mutsuto Katoh¹, Toru Yahagi¹, Yutaka Murakami¹, Yutaka Abe¹ (1.Yamagata Res Inst Tech)

Keywords:MEMS, Torsional resonator, Electro magnetic driving and inductive sensing

MEMS技術によりシリコン捩り共振子を作製した。デバイスは、シリコンチップと永久磁石の2層構造で、感応膜を想定した円板がトーションビームで周辺に固定されている。円板上コイルへのAC通電で電磁力により捩り振動を発生させ、別のコイルに誘起した誘導起電力で振動状態を検出した。電送特性S21を評価したところ、共振周波数は約87kHzで、駆動電圧の低下に伴い高周波側にシフトするピーク可変特性を得た。