[15a-412-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-412-10] 同軸型アークプラズマ堆積法により成膜した超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の窒素添加効果

〇儀間 弘樹¹、片宗 優貴²、大谷 亮太³、小泉 聡³、吉武 剛¹ (1.九大、2.九工大、3.物材研)

キーワード：超ナノ微結晶ダイヤモンド、同軸型アークプラズマ堆積法