[15a-421-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[15a-421-5] 水素終端全無機シリコンナノ結晶を用いた塗布型薄膜トランジスタ

〇松田 聡¹、加納 伸也¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：ナノ結晶、薄膜トランジスタ、塗布プロセス

我々のグループでは有機分子修飾を用いずに極性溶媒中で高い分散性を有する全無機シリコン(Si)ナノ結晶コロイドの開発に成功している。今回、我々は表面が水素で終端されている全無機Siナノ結晶を用いて、大気中における塗布プロセスで薄膜トランジスタ(TFT)の作製を行った。本講演では、水素終端された全無機Siナノ結晶塗布薄膜について、その電気伝導機構の解明と、それを用いたTFTの開発について発表を行う。