反応性マグネトロンスパッタ法を用いた単相MgH<sub>2</sub>薄膜のエピタキシャル成長

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一般セッション(口頭講演)

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[15p-311-1~18] 6.4 薄膜新材料

2017年3月15日(水) 13:15 〜 18:15 311 (311)

15:15 〜 15:30

〇(B)柿木園拓矢¹、清水亮太¹、杉山一生¹、大口裕之²、折茂慎一^2,3、一杉太郎^1,2,4 (1.東工大物質理工、2.東北大AIMR、3.東北大金研、4.JST-CREST)

キーワード：金属水素化物、エピタキシャル、マグネトロンスパッタ