[15p-318-1~11] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

[15p-318-2] Fabrication of evaporated Gd grating for neutron and evaluation by X-ray microscope

〇Tetsuo Samoto^1,2, Hidekazu Takano^1,2, Atsushi Momose^1,2 (1.JST ERATO Momose PJ., 2.IMRAM Tohoku Univ.)

Keywords:neutron phase imaging, X-ray microscope, Micro-fabrication

中性子位相イメージングのためのキーデバイスである中性子吸収型回折格子の作製プロセスを検討した．ガドリニウムGdの斜方蒸着による格子作製法は大面積化が可能であるが，シャドウイングによる空隙が多い膜構造が形成されやすくGd密度が減少し，中性子吸収機能が低下する．我々は斜方蒸着Gd格子を作製し，Gd密度をX線顕微鏡の３次元CT像で観察した．この結果，Si側壁のスキャロップを低減する空隙低減プロセスを示した．