2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

2017年3月15日(水) 13:15 〜 18:15 412 (412)

赤坂 大樹(東工大)、大越 康晴(電機大)、中村 挙子(産総研)

13:45 〜 14:00

[15p-412-3] 水素フリーおよび水素化DLC膜の形成と膜質分析

針谷 達1、今井 貴大1、飯島 佑史1、須田 善行1、滝川 浩史1、神谷 雅男2、金子 智3、國次 真輔4、新部 正人5、神田 一浩5 (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.神奈川県産技セ、4.岡山県工技セ、5.兵庫県立大)

キーワード:ダイヤモンドライクカーボン、アモルファスカーボン、フィルタードアーク蒸着法

ハードコーティング膜として利用されているダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜であるが,幅広い膜特性を有するため,目的に応じて適切なDLC膜を選択する必要がある。本研究では,フィルタードアーク蒸着法を用いて,水素フリーおよび水素化DLC膜を作製し,膜質を分析した。膜質の異なるDLC膜を作り分け,分析することで,膜密度と硬さの相関関係,および光学定数の変化傾向を明らかにした。