[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15p-412-3] 水素フリーおよび水素化DLC膜の形成と膜質分析

〇針谷 達¹、今井 貴大¹、飯島 佑史¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、金子 智³、國次 真輔⁴、新部 正人⁵、神田 一浩⁵ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.神奈川県産技セ、4.岡山県工技セ、5.兵庫県立大)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、アモルファスカーボン、フィルタードアーク蒸着法

ハードコーティング膜として利用されているダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜であるが，幅広い膜特性を有するため，目的に応じて適切なDLC膜を選択する必要がある。本研究では，フィルタードアーク蒸着法を用いて，水素フリーおよび水素化DLC膜を作製し，膜質を分析した。膜質の異なるDLC膜を作り分け，分析することで，膜密度と硬さの相関関係，および光学定数の変化傾向を明らかにした。