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△ [15p-412-3] 水素フリーおよび水素化DLC膜の形成と膜質分析
キーワード:ダイヤモンドライクカーボン、アモルファスカーボン、フィルタードアーク蒸着法
ハードコーティング膜として利用されているダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜であるが,幅広い膜特性を有するため,目的に応じて適切なDLC膜を選択する必要がある。本研究では,フィルタードアーク蒸着法を用いて,水素フリーおよび水素化DLC膜を作製し,膜質を分析した。膜質の異なるDLC膜を作り分け,分析することで,膜密度と硬さの相関関係,および光学定数の変化傾向を明らかにした。