[15p-412-1~18] 6.2 Carbon-based thin films

△ [15p-412-9] Preparation of multilayer film of DLC and Nitrogenated DLC toward Conductive Hard Coating

〇Yushi Iijima¹, Takahiro Imai¹, Ryo Isono¹, Toru Harigai¹, Yoshiyuki Suda¹, Hirofumi Takikawa¹, Masao Kamiya², Satoru Kaneko³, Shinsuke Kunitsugu⁴ (1.Toyohashi Univ. Technol., 2.Itoh Opt. Ind. Co., Ltd., 3.Kanagawa Ind. Technol. Cent., 4.Ind. Technol. Cent. of Okayama)

Keywords:carbon, multilayer

DLC膜とN-DLC膜を用いた積層DLC膜を作製し，耐摩耗性と導電性について単層膜との比較をした。T-FAD装置を用いて，超硬基板上に単層DLC膜，N-DLC膜を作製した。また，4層と8層の積層DLC膜を作製した。膜について，カロテスト痕観察，および抵抗率の算出を行った。カロテスト痕の削れ具合より，積層構造とすることで，耐摩耗性が向上した。また，積層構造は単層膜よりも抵抗率が低くなった。