[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15p-412-9] 導電性ハードコーティングに向けたDLCおよび窒化DLC膜の積層

〇飯島 佑史¹、今井 貴大¹、磯野 凌¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、金子 智³、國次 真輔⁴ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.神奈川県産技セ、4.岡山県工技セ)

キーワード：炭素、多層

DLC膜とN-DLC膜を用いた積層DLC膜を作製し，耐摩耗性と導電性について単層膜との比較をした。T-FAD装置を用いて，超硬基板上に単層DLC膜，N-DLC膜を作製した。また，4層と8層の積層DLC膜を作製した。膜について，カロテスト痕観察，および抵抗率の算出を行った。カロテスト痕の削れ具合より，積層構造とすることで，耐摩耗性が向上した。また，積層構造は単層膜よりも抵抗率が低くなった。