[15p-418-1~12] 多様な光源により進展する光プロセスの基礎と応用

[15p-418-7] レーザープラズマ極端紫外光による微細加工

〇牧村 哲也¹、浦井 ひかり¹、中村 大輔³、高橋 昭彦³、新納 弘之⁴、岡田 龍雄² (1.筑波大院数理、2.九大院シス情、3.九大院医、4.産総研)

キーワード：レーザープラズマ輻射極端紫外光、シリコーン、微細加工

短波長光による加工について概観し、さらに我々が行ってきたナノ秒レーザープラズマ極端紫外光によるアブレーション加工について述べる。波長が短いことおよび光子エネルギーが大きいことを利用して、アブレーション現象を研究し、シリカガラス(SiO2)、アクリル樹脂(PMMA)、シリコーンゴム(PDMS)の精密なマイクロ・ナノ加工を実現してきた。