[15p-512-1~9] ナノインプリント技術の進展と展開

[15p-512-2] シングルナノパターニングに向けた界面分子科学からのアプローチ

伊東 駿也¹、〇中川 勝¹ (1.東北大多元研)

キーワード：光ナノインプリント、シングルナノパターニング、界面分子化学

光ナノインプリントによるシングルナノスケールの成形に向けて、界面分子科学の観点から行ってきた一連の研究を概説する。ナノ空間中でのモノマーの粘度がモールドの分子表面およびモノマーの化学構造に依存することを明らかにし、表面力・共振ずり測定が離型分子層やモノマーの選定に有用な知見を与えることを示した。さらに、直径7nmでの樹脂転写を実証した。シングルナノパターニングに向けて起こる今後の課題について議論する。