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[15p-512-2] シングルナノパターニングに向けた界面分子科学からのアプローチ
キーワード:光ナノインプリント、シングルナノパターニング、界面分子化学
光ナノインプリントによるシングルナノスケールの成形に向けて、界面分子科学の観点から行ってきた一連の研究を概説する。ナノ空間中でのモノマーの粘度がモールドの分子表面およびモノマーの化学構造に依存することを明らかにし、表面力・共振ずり測定が離型分子層やモノマーの選定に有用な知見を与えることを示した。さらに、直径7nmでの樹脂転写を実証した。シングルナノパターニングに向けて起こる今後の課題について議論する。