[15p-F204-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-F204-8] シリコンキャップアニールによるn型4H-SiCのオーミック電極形成

〇(M2)谷口 太一¹ (1.広大院)

キーワード：半導体、SiC、オーミックコンタクト