10:45 AM - 11:00 AM
[16a-E206-8] Fabrication of Microneedle Array using Minimal Fab
Keywords:microneedle, 3D Fabrication, minimal fab
本研究は3次元マイクロ構造体の新しい製造方法を提供する。マイクロニードルアレイの構造を作製するため、主に次の三つの課題がある。1)ニードルの穴を反対面の構造体と位置合わせするための±5µm以下の表裏面アライメント精度、2)医療機器に応用可能な滑らかなニードル表面を形成するためのエッチング側壁面の加工粗さ低減、及び3)トライアンドレラーが必要な開発の効率が高くなければならず、またウェハを貫通するため製造に時間がかかる課題がある。今回は、その三つの課題の解決した結果を報告する。