[16a-E206-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[16a-E206-9] ミニマルファブを用いたSOI上のリブ型導波路の形成

〇来見田 淳也^1,2、田中 宏幸^1,2、梅山 規男^1,2、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)

キーワード：光導波路