[16p-416-1~18] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

[16p-416-15] Development of ultra-highspeed capacitive humidity sensors with CNT composite electrodes

〇Eiji Itoh¹, Yuan Zihan¹ (1.Shinshu Univ.)

Keywords:Carbon nanotube, Polyimide, Capacitive humidity sensor

本研究では我々はカーボンナノチューブガス透過電極とフッ素化ポリイミドを組み合わせた高速で高感度な湿度センサの開発に取り組み0.1秒以下（10msオーダー）で湿度制御と容量計測を行うための高速制御・計測システムの開発と湿度センサのさらなる高性能化の実証について検討を行った。同電極を用いた薄いFPI層を用いたセンサにおいて0.1秒を切る超高速応答も観測している。