[16p-P8-1~23] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-7] PLDで成長したMn doped ZnOの残留ドナー濃度低減に関する検討

〇金屋 良輔¹、高田 賢志¹、桐谷 乃輔¹、吉村 武¹、芦田 淳¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：酸化亜鉛、マンガン添加、パルスレーザー堆積法