[17a-301-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [17a-301-3] 走査型非線形誘電率顕微鏡を用いた局所DLTSによる界面トラップ分布の時定数依存性の観察

〇茅根 慎通¹、小杉 亮治²、田中 保宣²、原田 信介²、奥村 元²、長 康雄¹ (1.東北大、2.産総研)

キーワード：界面トラップ、局所DLTS、走査型非線形誘電率顕微鏡法