2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2017年3月17日(金) 09:00 〜 13:00 315 (315)

荻野 明久(静岡大)、市來 龍大(大分大)

11:30 〜 11:45

[17a-315-10] プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成

節原 裕一1、遠藤 雅1、〇竹中 弘祐1、内田 儀一郎1、江部 明憲2 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)

キーワード:IGZO