[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-10] プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成

節原 裕一¹、遠藤 雅¹、〇竹中 弘祐¹、内田 儀一郎¹、江部 明憲² (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)

キーワード：IGZO