PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 0 コメント (0) 11:30 〜 11:45 [17a-315-10] プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成 節原 裕一1、遠藤 雅1、〇竹中 弘祐1、内田 儀一郎1、江部 明憲2 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー) キーワード:IGZO