[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-14] 大気圧プラズマCVD法を用いた有機物層形成による蛍光イットリアナノ粒子の高機能化

〇関谷 健太¹、上村 真生²、曽我 公平²、北野 勝久³ (1.東理大・基礎工・材料工、2.東理大・総研院・IFC、3.阪大工)

キーワード：プラズマ、CVD、表面処理