[17a-315-1~15] 8.3 Plasma deposition of thin film and surface treatment

△ [17a-315-3] Formation of Diamond-Like-Carbon Film Using Pulsed Arc Jet

〇Itaru Fujita¹, Yuki Kondo¹, Toru Harigai¹, Yoshiyuki Suda¹, Hirofumi Takikawa¹, Hidenobu Gonda² (1.Toyohashi Univ. Technol., 2.OSG.Corp.)

Keywords:Diamond-Like-Carbon, Pulsed Arc Jet, Plasma

機能性膜として，DLC（Diamond-Like Carbon）膜は広く利用されている。従来のDLC成膜方法では，成膜速度が数nm/min～数100 nm/minであり，大量生産には多大な時間が必要となる。本研究では， パルスアークジェット（Pulsed Arc Jet）を用いたDLC成膜装置を試作し，試作装置の放電特性評価，および成膜を行った。成膜した膜のラマンスペクトルは，D(1360 cm^-1)バンドとGバンド(1580 cm^-1)を混合したDLCの典型的なスペクトルを示した。