[17p-301-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[17p-301-1] [第7回女性研究者研究業績・人材育成賞（小舘香椎子賞）受賞記念講演] SiCトレンチMOSFETの低オン抵抗化に向けたゲート絶縁膜プロセスの研究

〇有吉 恵子¹ (1.東芝)

キーワード：小舘賞受賞記念講演