2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-315-1~12] 8.1 プラズマ生成・制御

2017年3月17日(金) 14:00 〜 17:00 315 (315)

市來 龍大(大分大)

16:15 〜 16:30

[17p-315-10] ECRイオン源におけるXeプラズマ生成とイオンビームの最適化および照射系構築

大塚 拓郎1、萩野 尚吾1、渡辺 拓人1、津田 悠登1、竹田 樹人1、梅田 洋志1、濱田 滉太1、大西 広司1、加藤 裕史1 (1.阪大院工)

キーワード:ECRイオン源