[17p-315-1~12] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [17p-315-11] 円筒キャビティによるマイクロ波プラズマ生成の密度分布制御

〇(M1)堀田 将也¹、長谷川 雄一¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、スーナム パーク²、ディマ ルボミルスキー²、小林 理²、菅井 秀郎³ (1.中部大工、2.アプライドマテリアルズ、3.名産研)

キーワード：マイクロ波プラズマ、円筒キャビティ