17:30 〜 17:45 [20p-221C-14] 炭化珪素エッチング条件における三フッ化塩素ガスに対する AlN の腐食性 〇春口 瞳夕1、川崎 稜平1、羽深 等1、高橋 至直2 (1.横国大院工、2.関東電化工業)