16:00 〜 18:00 [18p-PA6-1] Mgイオン注入GaNのフラッシュランプアニールによる活性化 〇大森 雅登1、山田 隆泰2、谷村 英昭2、加藤 慎一2、岩田 直高3、塩崎 宏司1 (1.名大未来研、2.SCREENセミコンダクターソリューションズ、3.豊田工大)