14:00 〜 14:15 [21p-331-2] 窒素イオン注入を用いて作製したガードリング付き縦型Ga2O3ショットキーバリアダイオード 〇林 家弘1、ワン マンホイ1、佐藤 万由子2、竹川 直2、小西 敬太2、村上 尚2、熊谷 義直2、東脇 正高1 (1.情通機構、2.東京農工大院工)