10:45 〜 11:00 [20a-CE-7] リン固相拡散ドーピングを導入したFinFETの寄生抵抗の評価 〇松川 貴1、森 貴洋1、澤田 佳宏2、木下 洋平2、柳 永勛1、昌原 明植1 (1.産総研、2.東京応化工業)