13:30 〜 15:30 [21p-PB1-1] バッファ層付ガラス基板へのGa添加ZnO膜の短ギャップRFマグネトロンスパッタリング成膜 〇松田 良信1、松尾 直樹1、石場 将希1、古里 友宏1、山下 敬彦1 (1.長崎大院工)