10:15 〜 10:30 [20a-233-4] リン酸塗布方式エキシマレーザードーピングを施した低温多結晶Si薄膜の電気特性 〇妹川 要1,2、田中 希1、諏訪 輝1,2、中村 大輔1、佐道 泰造1、後藤 哲也3、池上 浩1,2 (1.九州大学、2.九州大学ギガフォトン共同研究部門、3.東北大学)