13:30 〜 13:45
〇古賀 和博1、柳 永勛2、居村 史人1,2、加瀬 雅2、野田 周一2、根本 一正2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
古賀 和博
発表者・著者、共著者
2018年9月21日(金) 13:00 〜 16:45 233 (233)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年9月21日(金) 13:00 〜 16:45 233 (233)
13:30 〜 13:45
〇古賀 和博1、柳 永勛2、居村 史人1,2、加瀬 雅2、野田 周一2、根本 一正2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)