17:00 〜 17:15 △ [21p-146-14] 高温アニールしたAlNのクラック抑制と高品質化 〇上杉 謙次郎1、林 侑介2、正直 花奈子3、永松 謙太郎1、吉田 治正1、三宅 秀人2,3 (1.三重大地域イノベ推進機構、2.三重大院地域イノベ、3.三重大院工)