17:00 〜 17:15 [19p-131-13] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学 (13)低濃度窒素の挙動と測定 〇井上 直久1,2、川又 修一2 (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)
17:15 〜 17:30 [19p-131-14] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(XVI)低温における1x1013cm-3までの赤外吸収測定 〇井上 直久1,2、川又 修一2 (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)
17:30 〜 17:45 [19p-131-15] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(XVII) 1014atoms・cm-3のポリシリコンの赤外吸収測定 〇井上 直久1,2、川又 修一2 (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)