16:45 〜 17:00 [19p-221A-13] 酸化物VLS結晶成長における空間均一な不純物ドーピングの設計指針 Zhu Zetao1、高橋 綱己1、細見 拓郎1、長島 一樹1、〇柳田 剛1 (1.九大先導研)