09:30 〜 11:30 [20a-PA3-1] 直接通電加熱によるGe単結晶の低温変形とパターン転写 〇阪本 大樹1、徳弘 快1、清水 雅弘1、下間 靖彦1、三浦 清貴1、八戸 啓2 (1.京大院工、2.株式会社プラウド)