10:15 〜 10:30 [19a-131-6] 多機能走査型プローブ顕微鏡によるSiC-ショットキーバリアダイオードの評価 2 〇内田 悠貴1、中島 瑞貴1、佐藤 宣夫1、山本 秀和1 (1.千葉工大工)
09:30 〜 11:30 [20a-PA6-6] 多機能走査型プローブ顕微鏡によるトレンチSiC-MOSFETの評価 〇内田 悠貴1、土井 敦史1、中島 瑞貴1、佐藤 宣夫1、山本 秀和1 (1.千葉工大工)