17:00 〜 17:15 [20p-234A-13] Ar+O2+H2スパッタによるIn-Ga-Zn-O薄膜トランジスタの低温形成 〇古田 守1、Aman S G Mahadhi1、曲 勇作1、神寳 健太1、是友 大地1 (1.高知工大)