17:15 〜 17:30 △ [20p-234A-14] Ar+O2+H2スパッタIn-Ga-Zn-OによるSchottkyダイオード特性向上 〇(DC)曲 勇作1、濵田 賢一朗1、増田 健太郎1、古田 守1,2 (1.高知工大院、2.高知工大総研)