14:00 〜 14:15 [20p-234A-3] HVPE法によるc面サファイア基板上ε-酸化ガリウム成長における酸素分圧及び成長温度の影響 〇(DC)竹川 直1、佐藤 万由子1、村上 尚1、熊谷 義直1 (1.東京農工大院工)